Кремниевая пластина со слоем EPI

Процесс эпитаксии на самом деле представляет собой метод выращивания тонкослойных монокристаллов, который включает выращивание нового монокристаллического слоя с определенным типом проводимости, удельным сопротивлением, толщиной и структурой решетки, соответствующей объемным монокристаллам вдоль направления кристалла, на подложке из монокристаллов кремния под действием определенные условия.